| 键合机精密工作台仿真分析与实验研究 |
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| 引用本文： | 武一民,张大卫,赵兴玉,王福军.键合机精密工作台仿真分析与实验研究[J].系统仿真学报,2009,21(10). |
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| 作者姓名： | 武一民 张大卫 赵兴玉 王福军 |
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| 作者单位： | 1. 河北工业大学,天津,300130;天津大学,天津,300072
2. 天津大学,天津,300072 |
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| 摘 要： | 面对芯片封装领域对高速、高精度平台的需求,设计了一种高速键合机精密工作台.工作台X,Y,Z向采用直线音圈电机直接驱动.运用有限元分析与机械系统动态仿真相结合的方法,建立工作台的仿真模型,运用虚拟样机技术对工作台弹性解耦机构中的关键部件-弹簧进行动态优化设计,分析了弹簧刚度与预载的匹配关系,探讨了铰链弹性对键合机工作台动态性能的影响作用.对工作台的工作过程进行了仿真分析.在此基础上制作了样机.实验结果表明:该精密工作台性能指标达到设计要求,验证了设计方法的正确性.
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| 关 键 词： | 键合机 弹性机构 建模 虚拟样机 仿真分析 实验 |
Simulation Analysis and Experimental Study of Wire Bonder Precision Positioning Table |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | wire bonder flexible mechanism modeling virtual prototyping simulation analysis experiment |
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