| 半导体制造系统改进Petri网模型的建立及优化调度 |
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| 引用本文： | 苏国军,汪雄海.半导体制造系统改进Petri网模型的建立及优化调度[J].系统工程理论与实践,2011,31(7):1372-1377. |
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| 作者姓名： | 苏国军 汪雄海 |
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| 作者单位： | 浙江大学 电气工程学院, 杭州 310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2009CB320602) |
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| 摘 要： | 为了更有效优化半导体制造系统生产资源调度,提出了基于分层着色时间Petri网模型的分时段优化调度方案.通过增强基本Petri网的描述能力和引入分层Petri网的思想,根据半导体制造系统的结构建立其改进Petri网模型-分层着色时间Petri网模型,并在模型中引入调度库所将调度算法嵌入到模型中,该模型能有效地克服基本Petri网模型规模膨胀的缺陷;同时将每一生产周期分成若干时间段,利用遗传算法来寻找各时间段内调度规则组合来优化半导体制造系统的动态性能,实现分时段优化调度,编码时, 根据机器组的利用率来选择部分机器组为瓶颈机器组,重点调度瓶颈机器组, 提高算法的搜索效率;仿真实验结果验证了该调度方案的优越性.
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| 关 键 词： | 半导体制造系统 Petri网模型 遗传算法 分时段优化调度 |
| 收稿时间： | 2009-12-14 |
Optimal scheduling of semiconductor manufacture system based on improved Petri net model |
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| SU Guo-jun,WANG Xiong-hai.Optimal scheduling of semiconductor manufacture system based on improved Petri net model[J].Systems Engineering —Theory & Practice,2011,31(7):1372-1377. |
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| Authors: | SU Guo-jun WANG Xiong-hai |
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| Institution: | College of Electrical Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor manufacturing system Petri net model GA multi-phase optimal scheduling |
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