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对甲酸蒸气具有质量传感特性的类金刚石薄膜
引用本文:
(颜永红,(曾云,(向建南,(尹霞,(靳九成,(陈宗璋.对甲酸蒸气具有质量传感特性的类金刚石薄膜[J].科学通报,1998,43(15):1672-1675.
作者姓名:
(颜永红
(曾云
(向建南
(尹霞
(靳九成
(陈宗璋
作者单位:
湖南大学物理系(颜永红,曾云,靳九成),湖南大学化学化工学院!长沙410082(向建南,尹霞,陈宗璋)
基金项目:
机械工业部科技基金!(机教 199528),湖南省自然科学基金资助项目
摘 要:
用含有胺基的正丁胺作为碳源,用射频辉光放电方法制备出碳膜。Raman谱分析表明,该种碳膜具有类金刚石结构。红外光谱分析表明薄膜中存在着SP^2和SP^3结构的碳氢键。
关 键 词:
胺基因
甲酸蒸气
质量传感
类金刚石
薄膜
收稿时间:
1997-07-24
修稿时间:
1998-01-21
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