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| 微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 顾长志.微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜[J].科学通报,1998,43(6):647-651. |
| 作者姓名： | 顾长志 |
| 作者单位： | (1) 吉林大学超硬材料国家重点实验室 长春130023 (2) 日本千叶工业大学精密机械工学科 日本国千叶县津田沼275 |
| 摘 要： | 采用ＭＷＰＣＶＤ制备金刚石膜的方法，以甲烷和一氧化碳为碳源气体，在适当的衬底温度与反应气体配比条件下，通过使衬底匀速转运，合成出具有晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜，在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜的生长与单晶硅衬底的类型及没有明显的直接关系。 |
| 关 键 词： | 金刚石膜 定向生长 MWPCVD 微波法 制备 |
| 收稿时间： | 1997-03-19 |
| 修稿时间： | 1997-08-16 |
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