| LiCl/SiO_2多孔薄膜的湿敏特性 |
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| 引用本文： | 孔令兵,张良莹,姚熹.LiCl/SiO_2多孔薄膜的湿敏特性[J].科学通报,1996,41(10):952-954. |
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| 作者姓名： | 孔令兵 张良莹 姚熹 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子材料研究室 西安710049
(孔令兵，张良莹)，西安交通大学电子材料研究室 西安710049(姚熹) |
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| 基金项目： | 上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室资助课题 |
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| 摘 要： | 湿敏材料的开发与研究是传感器研究的重要领域.从材料的角度而言,湿敏材料主要包括电解质型、高分子型和陶瓷型3大类.氯化锂湿敏材料是典型的电解质型,早在70年代初期就已经实用化.其制作方法是将氯化锂溶液与聚乙烯醇溶液按一定比例混合,再利用混合溶液制备出湿敏薄膜.调节氯化锂与聚乙烯醇的比例,制出不同性质的膜,它们分别在不同的湿度范围内敏感.所以,要获得全湿范围内的敏感元件,必须将上述不同性质的膜以单元的形式组合.因此,使得传感器的成本很高,只限于在军事方面使用,民用化比较困难.众所周知,多孔二氧化硅具有很好的物理、化学稳定性,而且还可通过改变制备条件控制其显微结构.采用溶胶-凝胶技术可获得所需结构特性的多孔二氧化硅材料.本文偿试将氯化锂与多孔二氧化硅复合,获得了在全湿范围内具有敏感特性的湿敏薄膜材料.元件的响应、恢复特性很好,采用提拉法制备薄膜,方法简单,效果良好.
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| 关 键 词： | 薄膜 湿敏特性 多孔薄膜 氯化锂 二氧化硅 |
| 收稿时间： | 1995-06-07 |
| 修稿时间： | 1995-08-08 |
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