| 软X射线激光用分束镜研制 |
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| 引用本文： | 王占山,吴永刚,唐伟星,秦树基,陈玲燕,徐向东,洪义麟,付绍军,朱杰,崔明启.软X射线激光用分束镜研制[J].科学通报,2003,48(13):1398-1401. |
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| 作者姓名： | 王占山 吴永刚 唐伟星 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪义麟 付绍军 朱杰 崔明启 |
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| 作者单位： | 1. 同济大学精密光学工程技术研究所,同济大学物理系,上海,200092
2. 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室,合肥230029
3. 中国科学院高能物理研究所,北京100039 |
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| 基金项目： | 本工作为国家自然科学基金资助（批准号：69989801，60178021）和国家“八六三”计划基金资助项目。 |
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| 摘 要： | 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的, 是测量临界面附近等离子体状态的重要方法. 基于软X射线多层膜的性能特点, 指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好, 分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准. 用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜, 实测表明其面形精度达到纳米量级, 反射率和透过率乘积大于1.6%.
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| 关 键 词： | 软X射线 分束镜 多层膜 干涉 |
| 收稿时间： | 2003-03-28 |
| 修稿时间： | 2003年3月28日 |
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