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| 快速、无损的大面积石墨烯晶圆转移方法 | |
| 引用本文： | 胡兆宁,林立,刘忠范.快速、无损的大面积石墨烯晶圆转移方法[J].科学通报,2023(26):3421-3424. |
| 作者姓名： | 胡兆宁 林立 刘忠范 |
| 作者单位： | 1. 北京大学材料科学与工程学院;2. 北京石墨烯研究院;3. 北京大学化学与分子工程学院,北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(T2188101,61974139,51432002,51520105003,12232016)；;国家重点研发计划(2016YFA0200101,2016YFA0200103,2019YFA0708203)； |
| 摘 要： | <正>尽管石墨烯薄膜材料表现出优异的电学、光学等物理化学性质,但相较于石墨烯粉体材料,其商业化应用还远未成熟.基于化学气相沉积法,在金属衬底上生长石墨烯薄膜被认为是批量化制备大尺寸石墨烯薄膜的主流路线.其中,在平整的Cu(111)晶圆衬底上外延生长超平整石墨烯单晶晶圆薄膜, |