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软X射线光学多层膜
引用本文:
白海力,姜恩永,吴萍,娄志东.软X射线光学多层膜[J].科学通报,1999,44(8):785-792.
作者姓名:
白海力
姜恩永
吴萍
娄志东
作者单位:
天津大学理学院应用物理学系!天津300072
基金项目:
国家自然科学基金,国家教委博士点基金,天津市2 1世纪青年科学基金,天津大学理科青年基金资助项目
摘 要:
评述了软X射线光学多层膜的结构设计,结构评价以及结构稳定性的研究现状,并讨论了目前存在的问题以及可能的解决办法。
关 键 词:
软X射线光学
多层膜
结构设计
结构稳定性
LB膜
收稿时间:
1998-09-30
修稿时间:
1999-01-13
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