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| 快速生长金刚石薄膜的装置及其工作性能 | |
| 引用本文： | 白亦真,吕宪义,金曾孙,邹广田. 快速生长金刚石薄膜的装置及其工作性能[J]. 吉林大学学报(理学版), 1992, 0(3) |
| 作者姓名： | 白亦真 吕宪义 金曾孙 邹广田 |
| 作者单位： | 吉林大学原子与分子物理研究所，吉林大学原子与分子物理研究所，吉林大学原子与分子物理研究所，吉林大学原子与分子物理研究所 超硬材料国家重点实验室，长春，超硬材料国家重点实验室，长春，超硬材料国家重点实验室，长春，超硬材料国家重点实验室，长春 |
| 摘 要： | 本文设计了用直流电弧等离子体喷射法快速生长金刚石薄膜的装置,并对其工作性能进行了研究。 |
| 关 键 词： | 快速沉积 金刚石薄膜 沉积装置 |
High-rate Diamond Film Deposition Apparatus and Its Working-property |
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| Bai Yizhen,Lu Xianyi,Jin Zengsun and Zou Guangtian. High-rate Diamond Film Deposition Apparatus and Its Working-property[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 1992, 0(3) | |
| Authors: | Bai Yizhen Lu Xianyi Jin Zengsun Zou Guangtian |
| Abstract: | The present paper covers the apparatus for high-rate diamond film deposition by DC arc plasma jet method and its working-property. |
| Keywords: | high-rate deposition diamond film deposition apparatus |
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