| AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用 |
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| 引用本文： | 郭占社,吴一辉,孟永钢.AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用[J].清华大学学报(自然科学版),2005,45(8):1062-1065. |
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| 作者姓名： | 郭占社 吴一辉 孟永钢 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,摩擦学国家重点实验室,北京,100084
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033 |
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| 摘 要： | 为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。
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| 关 键 词： | 机械制造工艺 AZ4903 电磁型平面微电机 绕组线圈 |
| 文章编号： | 1000-0054(2005)08-1062-04 |
| 修稿时间： | 2003年9月3日 |
Application of AZ4903 to the production of micromotor's stator windings |
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| GUO Zhanshe,Wu Yihui,MENG Yonggang.Application of AZ4903 to the production of micromotor''''s stator windings[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2005,45(8):1062-1065. |
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| Authors: | GUO Zhanshe Wu Yihui MENG Yonggang |
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| Institution: | GUO Zhanshe~1,WU Yihui~2,MENG Yonggang~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | mechanical machining process AZ4903 electromagnetic planar micromotor windings |
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