| 激光分子束外延制备薄膜技术 |
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| 引用本文： | 徐东然,马葆基,肖效光,王长征.激光分子束外延制备薄膜技术[J].聊城大学学报(自然科学版),2006,19(3):36-39. |
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| 作者姓名： | 徐东然 马葆基 肖效光 王长征 |
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| 作者单位： | 1. 聊城大学,物理科学与信息工程学院,山东,聊城,252059
2. 荷泽学院,山东,荷泽,274015 |
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| 基金项目： | 国家863高技术资助项目,编号：2004AA32G090. |
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| 摘 要： | 激光分子束外延制备薄膜是在传统分子束外延和普通激光淀积技术基础上发展起来的，以原子层、原胞层尺度研制薄膜的技术和方法．简要介绍了激光分子束外延的装置和工作原理、特点与优势及其研究内容，并对其应用前景进行了展望.
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| 关 键 词： | 激光分子束外延 多层膜 超晶格 |
| 文章编号： | 1672-6634（2006）03-0036-04 |
| 收稿时间： | 2006-02-13 |
| 修稿时间： | 2006-02-13 |
The Technique of Laser Molecular Beam Epitaxy for Thin Films |
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| XU Dong-ran,MA Bao-ji,XIAO Xiao-guang,WANG Chang-zheng.The Technique of Laser Molecular Beam Epitaxy for Thin Films[J].Journal of Liaocheng University:Natural Science Edition,2006,19(3):36-39. |
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| Authors: | XU Dong-ran MA Bao-ji XIAO Xiao-guang WANG Chang-zheng |
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| Institution: | 1 School of Physical Science and Information Technology, Liaocheng University, Liaocheng 252059, China ; 2 Heze College ,Heze 274015 ,China |
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| Abstract: | The Laser Molecular Beam Epitaxy(L-MBE) is a growth technique and method of the thin films based on the conventional MBE and the Pulsed Laser Deposition(PLD).The principle,characterization and advantages of L-MBE as well as recent research progress are discussed.The prospect on L-MBE is briefly evaluated also.; |
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| Keywords: | Laser Molecular Beam Epitaxy multilayer thin film superlattice |
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