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| 冠醚在晶体管硅表面清洗中的应用 | |
| 引用本文： | 许建光,谢明贵,马如椿,李龄远,杜贵生.冠醚在晶体管硅表面清洗中的应用[J].四川大学学报(自然科学版),1980(3). |
| 作者姓名： | 许建光 谢明贵 马如椿 李龄远 杜贵生 |
| 作者单位： | 四川大学化学系 (许建光，谢明贵)，亚光电工厂 (马如椿，李龄远)，亚光电工厂(杜贵生) |
| 摘 要： | 利用冠醚对金属离子所具有的选择性络合作用,用于晶体管生产中硅片表面的清洗,取得了初步结果。经冠醚的甲苯溶液处理过的晶体管,反向击穿电压大大提高,这有助于硅晶体管产品的质量和产量的提高,在试用18-冠-6,2苯并-18-冠-6,二环已基-18-冠6和苯并-15-冠-5四种冠醚中,以0.5％18-冠-6的甲苯溶液清洗,效果最好。 |
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