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硼注入金刚石的分子动力学模拟
引用本文:李荣斌,戴永兵,胡晓君,沈荷生,何贤昶.硼注入金刚石的分子动力学模拟[J].上海交通大学学报,2003(9).
作者姓名:李荣斌  戴永兵  胡晓君  沈荷生  何贤昶
作者单位:上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海 200030,上海 200030,上海 200030,上海 200030,上海 200030
摘    要:利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:单个500 eV的硼原子注入后金刚石仍保持长程有序结构;表面层原子向内驰豫,邻近表达层的其他各层原子向外驰豫,表面层与近表层原子的间距减少了15%,而第2层原子与第3层原子之间的间距增加了1.5%;硼原子穿透到表面层下0.4nm处,然后再向表面扩散;表面层产生0.4 MPa的压应力.

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