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| 用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究 | |
| 作者姓名： | 陈善宝 林更琪 邱进军 张志强 |
| 作者单位： | 华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系 |
| 摘 要： | 讨论了用于高频磁阻抗效应传感技术的ＮｅＦｅ软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理．用射频磁控溅射法在几十ｋＡ／ｍ磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ｎｉ８１Ｆｅ１９软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析 |
| 关 键 词： | 软磁薄膜 磁控溅射 磁场定向 高频磁阻抗效应 |
| 修稿时间： | 1998-09-04 |
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