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| 微电子机械系统的尺寸效应 | |
| 引用本文： | 韩光平,刘凯,王秀红.微电子机械系统的尺寸效应[J].西安理工大学学报,2004,20(2):145-148. |
| 作者姓名： | 韩光平 刘凯 王秀红 |
| 作者单位： | 1. 西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048;郑州航空工业管理学院,河南,郑州,450015 2. 西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048 3. 郑州航空工业管理学院,河南,郑州,450015 |
| 基金项目： | 科技部创新基金资助项目(00C2621400319)。 |
| 摘 要： | 针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同，阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念，讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应，提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应，为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 尺寸效应 相对性 绝对性 微机械 |
| 文章编号： | 1006-4710(2004)02-0145-04 |
| 修稿时间： | 2003年6月29日 |
Size Effect in Micro Electro Mechanical System |
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| HAN Guang-ping.Size Effect in Micro Electro Mechanical System[J].Journal of Xi'an University of Technology,2004,20(2):145-148. | |
| Authors: | HAN Guang-ping |
| Institution: | HAN Guang-ping~ |
| Abstract: | The importance of size effect in MEMS basic research is discussed, aiming at the difference between micro machine, whose characteristic size is on the order of microns, and macro machine. Relativity and absoluteness of size and size effect concept are investigated, size effects upon geometry and mechanics are analyzed, and size effects upon other important physics properties in MEMS are discussed respectively. Finally, general and special size effects are developed, thereby breaking a new ground for MEMS creative design and systematic research in basic theory. |
| Keywords: | MEMS size effect relativity absoluteness micro machine |
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