| 压电驱动快速倾斜镜的动态性能分析 |
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| 引用本文： | 周辉. 压电驱动快速倾斜镜的动态性能分析[J]. 科学技术与工程, 2013, 13(18) |
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| 作者姓名： | 周辉 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程重大项目（KGCX1-YW-16） |
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| 摘 要： | 快速倾斜镜（FSM）常用作光束控制的执行装置，很多场合都要求其具有优秀的动态性能。利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析；对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试，分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和机械谐振特性，发现加固层和结构摩擦作用下激发出的压电堆叠弯曲模态也是FSM动态性能的制约因素。
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| 关 键 词： | 快速倾斜镜 压电堆叠 频率特性 动态模型 有限元分析 |
| 收稿时间： | 2013-03-10 |
| 修稿时间： | 2013-03-10 |
Dynamic Performance Analysis of Fast Steering Mirror Actuated by Piezoelectric Stacks |
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| zhouhui. Dynamic Performance Analysis of Fast Steering Mirror Actuated by Piezoelectric Stacks[J]. Science Technology and Engineering, 2013, 13(18) |
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| Authors: | zhouhui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Fast steering mirror Piezoelectric stacks Frequency property Dynamic model Finite element analysis |
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