| 多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究 |
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| 引用本文： | 赖宗声,王新君.多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究[J].华东师范大学学报(自然科学版),1997(2):45-50. |
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| 作者姓名： | 赖宗声 王新君 |
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| 作者单位： | 华东师范大学电子科学技术系!上海，200062，华东师范大学电子科学技术系!上海，200062，华东师范大学电子科学技术系!上海，200062 |
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| 摘 要： | 多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术，我们以多孔硅为牺牲层，利用多孔硅的选择性生长机理，以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点，得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构，并设计研制了一种绝热式量热传感器。
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| 关 键 词： | 多孔硅 微机械加工 刻蚀 薄膜 量热传感器 |
Study on a New Porous-Si Micromachined Thin Film Calorimetric Sensor Structure |
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| Lai Zongsheng, Wang Xinjun, Wang Yunzhen.Study on a New Porous-Si Micromachined Thin Film Calorimetric Sensor Structure[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),1997(2):45-50. |
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| Authors: | Lai Zongsheng Wang Xinjun Wang Yunzhen |
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| Abstract: | The process of the porous silicon layer formation and etching off is a new generationsurface micromachining technology. Using porous silicon as a sacrificial layer, microbridge, microcantilever and flow channel with a large distance from the structure to the substrate is realized by its selectivity mechanism and the rapid undercutting rate in highly doped silicon. Theprototype of a new calorimetric sensor is designed and tested experimentally. |
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| Keywords: | Porous-Si Technology Surface Micromachine Calorimetric Sensor |
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