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| 一种具有时空高分辨率的整体式热流传感器 | |
| 引用本文： | 吴松,舒勇华,李进平,俞鸿儒.一种具有时空高分辨率的整体式热流传感器[J].科学通报,2014(25). |
| 作者姓名： | 吴松 舒勇华 李进平 俞鸿儒 |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所高温气体动力学国家重点实验室; |
| 摘 要： | 为在激波风洞中测量尖锐前缘等曲率半径很小处的表面热流率,俞鸿儒提出一种整体式热流传感器.与传统的热流传感器相比,整体式热流传感器空间分辨率提高了一个数量级,感应元件的最小尺寸仅为直径0.1 mm,可以测量R0.5 mm的球锥驻点热流.通过双组元电子束物理气相沉积的方法,制备康铜薄膜,形成整体式热流传感器的接点层.并利用数值计算,分析了传感器结构对测量精度的影响.激波风洞试验结果表明,本文制备的整体式热流传感器频响约100 kHz,测量重复性误差小于10%. |
| 关 键 词： | 激波风洞 热流传感器 康铜薄膜 电子束物理 气相沉积 |
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