| 物体亚表面的纳米探测研究 |
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| 引用本文： | 张思团,叶虎年.物体亚表面的纳米探测研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2007,35(10):77-79. |
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| 作者姓名： | 张思团 叶虎年 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金 |
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| 摘 要： | 利用光纤构建了一套光学相干层析系统(OCT),并在光纤末端安装自聚焦透镜,采用宽光源对抛光物体亚表面微缺陷的存在进行了无损在体层析检测.利用光外差技术实现对样品的高分辨率检测.提出利用光学相干层析系统检测抛光物体亚表面微缺陷的方法,同时本实验系统的分辨率小于600 nm.系统中的光源相干长度为3.5 μm,光程为往返式,因此本系统的相干长度为1.7 μm.实验证明本系统在探测抛光物体亚表面的微缺陷中,可以清晰地识别3～4个微缺陷点区域.
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| 关 键 词： | 纳米探测 光学相干层析 微缺陷 光外差 物体 表面 纳米 探测研究 subsurface nanometer 区域 缺陷点 识别 验证 光源相干长度 光程 实验系统 高分辨率 方法 系统检测 层析检测 样品 光外差技术 存在 |
| 文章编号： | 1671-4512（2007）10-0077-03 |
| 修稿时间： | 2006-06-24 |
The detection of nanometer micro-flaw of subsurface |
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| Zhang Situan,Ye Hunian.The detection of nanometer micro-flaw of subsurface[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2007,35(10):77-79. |
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| Authors: | Zhang Situan Ye Hunian |
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| Institution: | College of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanometer detection optical coherence tomography micro-flaw optical heterodyne |
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