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| 激光表面形貌纳米测量的研究 | |
| 引用本文： | 赛景波.激光表面形貌纳米测量的研究[J].云南大学学报(自然科学版),2005(Z1). |
| 作者姓名： | 赛景波 |
| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院 北京 |
| 摘 要： | 测量设备由光路单元、数字鉴相单元、A/D变换单元、测量平台、PC机及相应的软件组成.利用激光的Raman-Nath衍射和光干涉的原理,该设备通过光探针得到测量和参考正弦波的相位差;PC机计算与该相位差成线性关系的工件表面的起伏变化量,通过测量平台完成表面形貌的钠米测量.该设备的实际测量精度为3nm. |
| 关 键 词： | 纳米测量 激光 声光调制器 光电接收器 光探针 数字鉴相 |
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