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| 与时间有关的介质膜击穿的测量及分析 | |
| 引用本文： | 范焕章,孙沩.与时间有关的介质膜击穿的测量及分析[J].华东师范大学学报(自然科学版),1986(1). |
| 作者姓名： | 范焕章 孙沩 |
| 作者单位： | 华东师范大学电子科学技术系，华东师范大学电子科学技术系 |
| 摘 要： | 用MIS电容器作为测试结构,用自制的自动测量仪对与时间有关的介质膜击穿(TDDB)进行了大量测量,证实了不同介质,不同面积的结构在不同的电场加速下,其TDDB的失效均服从对数正态分布。观察了所加电压极性对TDDB的影响。从电场加速试验结果求得电场加速因子(A_(EF))中的常数γ=6.2MV/cm。从不同面积结构的测试结果验证了累积失效率F和面积A与缺陷密度D的乘积AD之间的关系。最后说明了如何从测试结构在电场应力加速下的结果求得实际器件在额定电压下的TDDB失效率。 |
| 关 键 词： | TDDB 电场加速因子 累积失效率 对数正态分布 标准差 加速试验 测试结构 |
Measurement and Analysis of Time Dependent Dielectric Breakdown(TDDB) |
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| FAN HUANZHANG,SUN WEI.Measurement and Analysis of Time Dependent Dielectric Breakdown(TDDB)[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),1986(1). | |
| Authors: | FAN HUANZHANG SUN WEI |
| Institution: | FAN HUANZHANG;SUN WEI Department of Electronic Science and Technology |
| Abstract: | |
| Keywords: | time dependent dielectric breakdown(TDDB) electric field acceleration factor accumulated failure rate log-normal distribution standard deviation acceleration test test structure |
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