蓝宝石衬底基片平整加工专利分析

蓝宝石是国际上公认的LED衬底材料,但其硬度高且脆性大机械加工困难,蓝宝石晶体切割后需要经过平整加工达到规定的平面度、粗糙度、晶格完整性等指标后方可使用。基于蓝宝石衬底片平整加工专利,本文从申请量、申请区域以及技术发展路线三方面展开分析。