| 衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜制备的影响 |
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| 引用本文： | 程四兴,黎兵,唐萍,冯良桓,蔡亚平,张静全,李卫,武莉莉,曾广根,王文武.衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜制备的影响[J].四川大学学报(自然科学版),2012,49(1):188-192. |
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| 作者姓名： | 程四兴 黎兵 唐萍 冯良桓 蔡亚平 张静全 李卫 武莉莉 曾广根 王文武 |
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| 作者单位： | 四川大学材料学院,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60506004);国家高技术研究与发展计划(0030105403034） |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备了CdTe/ZnTe多层薄膜，并在制备单层CdTe薄膜和ZnTe薄膜的基础上，研究了衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜性质的影响；通过XRD和透过谱、吸收谱的分析，对其结构进行了研究.结果表明在185 ℃下制备的CdTe/ZnTe多层膜中，CdTe和ZnTe均沿（111）晶面择优取向生长，尤其是ZnTe沿（111）晶面择优取向明显，衍射强度极大. 通过比较不同衬底温度，发现185 ℃生长的样品衍射峰强度最高，成膜质量较好；通过吸收谱图分析，185 ℃下沉积的样品对光有较好的吸收性.
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| 关 键 词： | 磁控溅射法 CdTe/ZnTe 太阳电池 衬底温度 |
| 收稿时间： | 2011/7/19 0:00:00 |
The influence of substrate temperature on the preparation of CdTe/ZnTe Multi-layer thin films |
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| CHENG Si-Xing,LI Bing,TANG Ping,FENG Liang-Yuan,CAI Ya-Ping,ZHANG Jing-Quan,LI Wei,WU Li-Li,ZHENG Guang-Gen and WANG Wen-Wu.The influence of substrate temperature on the preparation of CdTe/ZnTe Multi-layer thin films[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2012,49(1):188-192. |
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| Authors: | CHENG Si-Xing LI Bing TANG Ping FENG Liang-Yuan CAI Ya-Ping ZHANG Jing-Quan LI Wei WU Li-Li ZHENG Guang-Gen and WANG Wen-Wu |
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| Institution: | Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University;Deparment of Materials, Sichuan University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering CdTe/ZnTe solar cell substrate temperature |
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