|
|||||
|
|
| 差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计 | |
| 引用本文： | 赵昭,雷华明.差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计[J].上海交通大学学报,2023(3):264-272. |
| 作者姓名： | 赵昭 雷华明 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学仪器科学与工程系;2. 上海交通大学海洋智能装备与信息系统教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 为研究差压式电容传感器测量膜片的受压变形，将经典的von Kármán薄板理论应用于受有预张力作用的弹性圆薄板问题，采用同伦分析法给出近似解析解.将求解结果与有限元软件ANSYS的仿真结果进行对比，表明两者吻合度较高.预张力大小对膜片在受压情况下的变形影响较大，从而影响传感器的电容输出特性.利用传感器性能测试验证了预张力对传感器非线性特性的影响.结果表明：选择合适的预张力可以有效提升传感器的线性度，适当降低膜片厚度可以提高输出的灵敏度.分析结果对差压式电容传感器的膜片设计具有重要的参考价值. |
| 关 键 词： | 传感器膜片 预张力 变形分析 同伦分析 非线性 |