|
|||||
|
|
| 一种SOL-GEL制备钛酸锶钡(BST)薄膜新路线的工艺研究 | |
| 作者姓名： | 李桂英 余萍 肖定全 王欢 |
| 作者单位： | 四川大学材料科学系 四川大学材料科学系 成都 |
| 摘 要： | 研究利用钡、锶的碳酸盐代替醋酸盐,采用sol-gel技术制备Ba1-xSrxTi O3(BST)铁电薄膜的工艺过程.以碳酸钡、碳酸锶和钛酸四丁酯作原料,采用sol-gel工艺制备BST薄膜,对比研究了用两种混合溶剂制胶和制膜的工艺.通过XRD分析了薄膜的结构,用AFM测定表面形貌,结果表明,采用碳酸盐作为钡、锶的原料,用冰醋酸和乙二醇甲醚混合液作溶剂,可配制出澄清透明、能长时间放置的溶胶,并制备出膜厚均匀、表面光洁致密、没有裂纹的全钙钛矿相的BST薄膜. |
| 关 键 词： | BST薄膜 溶胶-凝胶法 薄膜制备工艺 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |