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谐振法探测平板层流DBD的放电装置电特性
引用本文:周恒智,陈静秋.谐振法探测平板层流DBD的放电装置电特性[J].中国西部科技,2007(10).
作者姓名:周恒智  陈静秋
作者单位:深圳大学 广东深圳518060
摘    要:功率较大、频谱较宽的射频电源是DBD放电的关键设备,射频电源的功率和频谱宽度成为了研究DBD放电的瓶颈。本文利用手边的先进的射频电源,利用反向设计的思路,谈讨射频电源的设计要求。用谐振法测量平板放电设备谐振频率和射频电源的等效电感。

关 键 词:射频电源  谐振频率  反向设计
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