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| 热驱动薄膜式微型泵 | |
| 作者姓名： | 尹执中 庞江涛 刘理天 胡桅林 过增元 |
| 作者单位： | 清华大学,工程力学系,北京,100084;清华大学,微电子所,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目 !( 5 9995 5 5 0 -2 ) |
| 摘 要： | 微型泵在化学分析、环境监测和药物传送等领域有广阔应用前景。为了解热驱动薄膜式微型泵的性能 ,对泵的主要部件进行了理论分析 ,然后对泵的整体性能进行了数值模拟。得到了微型泵的频率特性 ,流量 -压头曲线及流量随功率的变化。发现泵的流量在 3 .3 3 Hz左右达到最大 ,泵的零流量压头为 64 k Pa左右 ;由于预应力的作用 ,使输入功率低时泵的流量比没有预应力时显著减小 ,而当输入功率较大时 ,泵的流量随输入功率增大而迅速增大。实验测定了微型泵流量的频率特性和随功率的变化 ,实测结果与模拟结果基本吻合 |
| 关 键 词： | 微型机械 微型泵 传热 流动 模拟 |
| 修稿时间： | 1999-07-13 |
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