| 一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法 |
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| 引用本文： | 余文新,胡小唐,邹自强.一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2002,35(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 余文新 胡小唐 邹自强 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072 [2]北京光电量仪研究中心，北京100083 |
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| 基金项目： | 国家教委博士点基金资助项目 (980 0 5635)，教育部重点科技资助项目 (990 2 2 ) |
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| 摘 要： | 提出了一种高分辨率，高频响的光栅纳米测量细分方法－动态跟踪细分法。它综合了计算机正切细分法细分份数大，电阻链细分法工作速度快，频响亮的优点，电路原理清晰，结构简单，能够同时适用于动态和静态测量，较好地解决了光栅纳米测量的信号处理过程中的高速度与高分辨率，高准确度的矛盾。实验表明，动态跟踪细分法能够在400细分时实现100kHz以上的频率响应速度，配合信号周期2μm的光栅传感器，可以得到5nm的测量分辨率，为光栅纳米测量技术应用于实时测量和实时控制打下了良好的基础，是一种非常有发展前途的新的莫尔条纹细分方法。
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| 关 键 词： | 光栅纳米测量 莫尔条纹 分辨率 动态跟踪细分法 频率响应 信号处理 |
| 文章编号： | 0493-2137(2002)01-0001-04 |
| 修稿时间： | 2001年3月23日 |
A Subdivision Method with High Resolution and High Response Speed in Grating-based Nanometrology |
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| YU Wen xin ,HU Xiao tang ,ZOU Zi qiang.A Subdivision Method with High Resolution and High Response Speed in Grating-based Nanometrology[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2002,35(1):1-4. |
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| Authors: | YU Wen xin HU Xiao tang ZOU Zi qiang |
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| Institution: | YU Wen xin 1,HU Xiao tang 1,ZOU Zi qiang 2 |
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