| SnO2:(Sb,In)透明导电薄膜的制备及其性能研究 |
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| 引用本文： | 闫军锋,张志勇,邓周虎,赵武,王雪文. SnO2:(Sb,In)透明导电薄膜的制备及其性能研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2007, 35(Z1) |
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| 作者姓名： | 闫军锋 张志勇 邓周虎 赵武 王雪文 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金 , 西北大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶(Sol-Gel)技术制备了SnO2∶(Sb,In)薄膜,优化了制备工艺参数,应用差示扫描量热仪-热重分析仪(DSC-TGA)、X射线衍射仪(XRD)等手段对薄膜进行了表征.结果表明,氯化亚锡、乙醇和水摩尔比为1∶20∶4时成胶状态最佳,当锑和铟的掺杂量分别为7 %和4 %时,在500 ℃氮、氢混合气氛下煅烧2 h制备的薄膜表面平整,方块电阻大约为40.5 Ω,紫外-可见光透射率达88 %.
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| 关 键 词： | 溶胶疑胶 二氧化锡 透明导电薄膜 透明导电 膜的制备 性能 研究 characterization Preparation thin film 可见光透射率 方块电阻 薄膜表面 煅烧 混合气氛 掺杂量 最佳 状态 摩尔比 乙醇 氯化亚锡 结果 表征 |
Preparation and characterization of SnO2:(Sb,In) transparent and conducting thin film |
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| Yan Junfeng,Zhang Zhiyong,Deng Zhouhu,Zhao Wu,Wang Xuewen. Preparation and characterization of SnO2:(Sb,In) transparent and conducting thin film[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2007, 35(Z1) |
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| Authors: | Yan Junfeng Zhang Zhiyong Deng Zhouhu Zhao Wu Wang Xuewen |
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