| STM式三维nm级轮廓仪的研究 |
| |
| 引用本文： | 李文菊,张鸿海,师汉民,陈日曜. STM式三维nm级轮廓仪的研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1996, 0(7) |
| |
| 作者姓名： | 李文菊 张鸿海 师汉民 陈日曜 |
| |
| 作者单位： | 华中理工大学机械科学与工程学院 |
| |
| 摘 要： | 基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差，进而提出了一种平滑反馈扫描技术．
|
| 关 键 词： | 检测；扫描隧道显微镜；轮廓仪 |
An STM-Based 3-D Profiler with a Resolution of Nanometer Level |
| |
| Li Wenju, Zhang Honghai, Shi Hanmin, Chen Riyao. An STM-Based 3-D Profiler with a Resolution of Nanometer Level[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1996, 0(7) |
| |
| Authors: | Li Wenju Zhang Honghai Shi Hanmin Chen Riyao |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | measurement scanning tunneling microscope (STM) 3-D profiler with resolution of nanometer level |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
