| ZrCl4蒸汽法沉积ZrC涂层的锆源输送装置 |
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| 引用本文： | 刘超,刘兵,邵友林,李自强,唐春和.ZrCl4蒸汽法沉积ZrC涂层的锆源输送装置[J].清华大学学报(自然科学版),2008,48(3):449-452. |
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| 作者姓名： | 刘超 刘兵 邵友林 李自强 唐春和 |
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| 作者单位： | 清华大学,核能与新能源技术研究院,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为解决ZrCl4蒸汽法化学气相沉积包覆燃料颗粒ZrC涂层时锆源输送的控制问题,设计制造了锆源输送装置.改装坩埚电阻炉,配备温度控制箱,以满足蒸发器的连接和控温要求;设计不锈钢蒸发器与耐高温、腐蚀压力表以满足腐蚀性气体测压要求;使用加热带和玻璃纤维布以满足ZrCl4蒸汽输送过程保温要求.最后进行ZrCl4蒸汽载带实验.实验结果表明,通过控制蒸发器加热温度和载气流量该装置可以实现ZrCl4蒸汽的定量载带,为ZrCl4蒸汽法沉积ZrC涂层提供了设备基础.
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| 关 键 词： | ZrCl4蒸汽 化学气相沉积 包覆燃料颗粒 ZrC涂层 锆源输送装置 |
| 文章编号： | 1000-0054(2008)03-0449-04 |
| 修稿时间： | 2007年1月2日 |
A transportation equipment of zirconium source for ZrCl4 vapor method depositing ZrC coatings |
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| LIU Chao,LIU Bing,SHAO Youlin,LI Ziqiang,TANG Chunhe.A transportation equipment of zirconium source for ZrCl4 vapor method depositing ZrC coatings[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2008,48(3):449-452. |
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| Authors: | LIU Chao LIU Bing SHAO Youlin LI Ziqiang TANG Chunhe |
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