| 硬盘用压电厚膜微致动器的制作及有限元分析 |
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| 引用本文： | 荆阳,雒建斌,张学恒,张力.硬盘用压电厚膜微致动器的制作及有限元分析[J].北京理工大学学报,2004,24(12):1045-1048. |
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| 作者姓名： | 荆阳 雒建斌 张学恒 张力 |
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| 作者单位： | 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 设计、制作并分析了一种用于高密度硬盘磁头精确定位的新型压电厚膜微致动器.采用流延技术制备PMN-PZT多层膜元件,使用丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极,并对其进行了有限元建模和仿真.仿真结果表明,当采用4层结构的压电厚膜微致动器时,在外加电压±30 V的条件下,可以实现0.921 6 μm的悬臂自由端位移和19.638 kHz的谐振频率.
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| 关 键 词： | 硬盘驱动器 流延技术 微致动器 PMN-PZT 压电厚膜 硬盘磁头 压电厚膜 微致动器 工艺制作 有限元分析 Drives Hard Disk Piezoelectric Finite Element Analysis 谐振频率 位移 自由端 悬臂 条件 外加电压 结构 仿真结果 建模和仿真 内电极 丝网印刷 |
| 文章编号： | 1001-0645(2004)12-1045-04 |
| 收稿时间： | 2/2/2004 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2004年2月2日 |
Fabrication and Finite Element Analysis of Piezoelectric Thick-Film Micro-Actuator for Hard Disk Drives |
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| JING Yang,LUO Jian-bin,ZHANG Xue-heng and ZHANG Li.Fabrication and Finite Element Analysis of Piezoelectric Thick-Film Micro-Actuator for Hard Disk Drives[J].Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition),2004,24(12):1045-1048. |
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| Authors: | JING Yang LUO Jian-bin ZHANG Xue-heng and ZHANG Li |
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| Institution: | JING Yang,LUO Jian-bin,ZHANG Xue-heng,ZHANG Li100084,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hard disk drives tape-casting technology micro-actuator PMN-PZT piezoelectric thick-film |
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