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| 日本开发出脆硬材料加工新技术 | |
| 作者单位： | 新华社 |
| 摘 要： | 东京工业大学理工学研究科的教授最近开发出在玻璃、硅等脆硬材料上作微细的纵深方向加工的新技术。据《日刊工业新闻》报道 ,脆硬材料容易破裂 ,但在长度不足 1微米的情况下 ,材料表面就会显示出光滑、不易破裂等特性。利用这种特性 ,就可以在纵深方向上作压制加工而保证不使其破裂。学者们首先对进行纵向加工的钻石工具作了进一步加工。他们在工具尖端 6 0微米见方的区域内制做出 342个边长为 1微米的四方突起 ,突起之间设有 1 7微米的离子束(FIB)装置。实验时 ,他们使用这种工具对玻璃和硅的表面在几秒钟内施加 1至 5牛顿的压力 ,结果… |
| 关 键 词： | 日本 脆硬材料 材料加工技术 纵向加工 |
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