| 透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜 |
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| 引用本文： | 闫彩波,周艳文,王鼎.透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜[J].辽宁科技大学学报,2021,44(2):99-106,110. |
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| 作者姓名： | 闫彩波 周艳文 王鼎 |
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| 作者单位： | 辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山 114051 |
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| 摘 要： | 透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能.作为前电极,此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器件.本文以典型的掺杂TCO薄膜为切入点,综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用,重点阐述了几种典型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望.
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| 关 键 词： | 透明导电氧化物薄膜 掺杂 结构特征 光电性能 制备方法 |
Transparent conductive film(I) ----Doped transparent conductive oxide film |
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| YAN Caibo,ZHOU Yanwen,WANG Ding.Transparent conductive film(I) ----Doped transparent conductive oxide film[J].Journal of University of Science and Technology Liaoning,2021,44(2):99-106,110. |
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| Authors: | YAN Caibo ZHOU Yanwen WANG Ding |
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