| 磁控溅射在PI/石墨烯基体上制备氧化锌薄膜 |
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| 引用本文： | 刘思宁,周艳文,沙天怡,齐艳萍,佟欣儒,王羽倩,吴法宇.磁控溅射在PI/石墨烯基体上制备氧化锌薄膜[J].辽宁科技大学学报,2015,38(4). |
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| 作者姓名： | 刘思宁 周艳文 沙天怡 齐艳萍 佟欣儒 王羽倩 吴法宇 |
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| 作者单位： | 辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，辽宁省优秀人才项目，辽宁科技大学大学生创新创业项目 |
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| 摘 要： | 聚酰亚胺(PI)/石墨烯复合薄膜兼备了可挠曲性及透明、导电性,可作为柔性透明导电电极用于柔性电子器件中。但附着于PI上的石墨烯易划伤,使其导电性变差。本文采用脉冲直流磁控溅射法,以PI/石墨烯为基体,镀制保护石墨烯的氧化锌薄膜。分别采用原子力显微镜、X射线衍射仪、台阶仪、霍尔效应仪及紫外-可见分光光度计检测PI/石墨烯/ZnO复合薄膜的表面形貌、晶体结构、薄膜厚度及导电、透光性能。结果表明,PI/石墨烯/ZnO复合薄膜结构致密,氧化锌以(002)为择优取向,最低方阻为1.9×104Ω/sq,略低于石墨烯的方阻,可见光区平均透光率达80%。
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| 关 键 词： | PI/石墨烯/ZnO复合薄膜 脉冲磁控溅射 透明导电电极 |
Preparation of ZnO films on graphene/PI substrateby magnetron sputtering |
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| Abstract: | Graphene is a new material with good conductivity and high transmittance,polyimide (PI) film isflexible. PI/graphene composite films are not only flexible,but also transparent and conductive. The conductivityof the PI/graphene is easily damaged due to scratch on the graphene surface. ZnO films were depositedonto the PI/graphene substrate by pulsed DC magnetron sputtering to protect the surface of graphene in this paper.A range of techniques,X-ray diffraction,atomic force microscope,step profile,Hall Effect measurementand UV-vis spectrophotometer,were used to determinate the structure,optical and electrical propertiesof the PI/graphene/ZnO films. The results showed that the sheet resistance of PI/ graphene/ZnO multilayer filmwas low down 1.9×104 Ω/sq. The average transmittance of the PI/graphene/ZnO film was upto 85% within thevisible wavelength. |
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| Keywords: | PI/graphene/ZnO multilayer film pulsed DC magnetron sputtering transparent conductive electrode |
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