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| 大角度扭转微镜的静态特性分析 | |
| 作者姓名： | 王振霖 陈学康 曹生珠 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000;兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000;兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000 |
| 摘 要： | 大角度扭转微镜是一种静电驱动的MEMS微致动器。微镜的大角度扭转会引起极板间电场分布的显著变化,使得极外电场的对微镜的影响变得不容忽略。此外,微镜受静电力作用时,悬臂梁会产生扭转和弯曲两种变形,悬臂梁的弯-扭耦合效应的影响也是必须考虑的。综合考虑了这两类影响,推导出了适用于分析大角度扭转微镜静态特性的解析公式。 |
| 关 键 词： | 大角度扭转微镜 静态特性 耦合 |
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