环境—透明薄膜—基板系统的椭偏角ψ和△对于δ_2、■_1、n_2的依赖关系 |
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引用本文: | 王志刚,王力真,张文基,张元民.环境—透明薄膜—基板系统的椭偏角ψ和△对于δ_2、■_1、n_2的依赖关系[J].山东大学学报(理学版),1986(3). |
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作者姓名: | 王志刚 王力真 张文基 张元民 |
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作者单位: | 山东大学光学系
(王志刚),山东大学轻工业研究院
(王力真),美国南加州大学
(张文基),华东化工学院(张元民) |
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摘 要: | 以椭圆偏振测量的基本公式为基础,利用计算机,研究了环境—透明薄膜—基板系统的椭偏角(?)和△对于δ_2、(?)_1、n_2的依赖关系,讨论了入射角、基板的折射率等实验参数的最佳选择问题。
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关 键 词: | 环境—透明薄膜—基板系统 椭偏测量 |
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