| 外延晶体硅薄膜太阳电池的量子效率和特性研究 |
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| 引用本文： | 艾斌,沈辉,班群,梁宗存,陈如龙,施正荣,廖显伯.外延晶体硅薄膜太阳电池的量子效率和特性研究[J].中国科学(E辑),2004,34(11):1300-1312. |
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| 作者姓名： | 艾斌 沈辉 班群 梁宗存 陈如龙 施正荣 廖显伯 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院广州能源研究所,广州,510640
2. 无锡尚德太阳能电力有限公司,无锡,214028
3. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 中国科学院"百人计划"(批准号: 99-019-422288)、国家"863"计划(批准号: 2001AA513060)和国家自然科学基金(批准号: 50376067)资助项目 |
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| 摘 要： | 为了澄清限制所制备的颗粒硅带上的晶体硅薄膜太阳电池效率的主要因素,对制备在颗粒硅带、经区熔(ZMR)后的颗粒硅带和单晶硅衬底上的外延晶体硅薄膜太阳电池进行了QE和Suns-Voc研究.结果表明,颗粒硅带上沉积的外延层的表面有一定的粗糙度,它不但增加了电池表面的漫反射,也使氮化硅减反射膜的结构变得疏松,最终影响了减反射膜的陷光效果;沉积在颗粒硅带上的硅活性层的晶体质量也较差,较重的晶界复合限制了少子扩散长度,使得制备在颗粒硅带上的硅薄膜太阳电池在长波方向上的光谱响应明显变坏.所制备的晶体硅薄膜太阳电池的暗特性参数值均不理想,电池性能尤其受到过高的暗饱和电流I02值和过低的并联电阻Rsh值的严重影响.高的I02值是由于结区硅活性层较差的晶体质量所导致的严重的晶界复合造成的,低的Rsh值被归结为电池经激光切割后未经钝化的裸露的PN结及电池边缘的漏电造成的.
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| 关 键 词： | 颗粒硅带 晶体硅薄膜太阳电池 量子效率 暗特性 |
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