| DRNI型磁盘表面粗糙度非接触测量仪 |
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| 引用本文： | 陈涛,陈家璧,李柱.DRNI型磁盘表面粗糙度非接触测量仪[J].华中科技大学学报(自然科学版),1992(6). |
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| 作者姓名： | 陈涛 陈家璧 李柱 |
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| 作者单位： | 华中理工大学机械工程一系
(陈涛，陈家璧)，华中理工大学机械工程一系(李柱) |
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| 基金项目： | 国家“七五”重大科技攻关项目，国家教委博士点基金资助 |
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| 摘 要： | 本文论述了研制成的一种用于计算机硬盘盘片等超精密表面粗糙度非接触测量的智能化仪器;提出了基于外差干涉原理的平行双光束设计方案,简述了该测量仪结构、光学系统、驱动控制系统、光电转换系统、数据处理系统及精密定位系统;给出了表面粗糙度多刻线标准样板以及磁盘表面粗糙度的实测曲线.测试结果表明,该测量仪的示值误差优于3%,示值变动性小于±3%,可实现自动调焦自动测量.
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| 关 键 词： | 测量仪 磁盘 表面粗糙度 非接触测量 外差干涉 |
Disk Surface Roughness A Non-Contact Instrument |
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| Chen Tao Chen Jiabi Li Zhu.Disk Surface Roughness A Non-Contact Instrument[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1992(6). |
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| Authors: | Chen Tao Chen Jiabi Li Zhu |
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| Institution: | Chen Tao Chen Jiabi Li Zhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measuring instrument magnetic discs surface roughness non- contact measure ment heterodyne interferometry |
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