| 用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析 |
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| 引用本文： | 周佩瑶 徐玉兰. 用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析[J]. 首都师范大学学报(自然科学版), 1999, 20(2): 33-36 |
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| 作者姓名： | 周佩瑶 徐玉兰 |
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| 作者单位： | 天津大学物理系(周佩瑶,吴亚非),首都师范大学(徐玉兰) |
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| 摘 要： | 分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果
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| 关 键 词： | 干涉显微镜 薄膜 厚度 波长 误差 |
The Analysis of Measurement of Thin Film Thickness by Interfero Microscope |
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| Zhou Peiyao. The Analysis of Measurement of Thin Film Thickness by Interfero Microscope[J]. Journal of Capital Normal University(Natural Science Edition), 1999, 20(2): 33-36 |
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| Authors: | Zhou Peiyao |
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| Affiliation: | Zhou Peiyao(Tianjin University) Xu Yulan(Capilal Normal University) Wu Yafei(Tianjin University) |
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| Abstract: | This paper analyzed errors of measurement of thin film thickness by 6JA interfero microscope,gave corrective coefficient and experiment results. |
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| Keywords: | interfero microscope thin film thickness wavelength error. |
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