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| TiN 膜吸附机理及工艺的研究 | |
| 引用本文： | 李洪.TiN 膜吸附机理及工艺的研究[J].合肥工业大学学报(自然科学版),1997(6). |
| 作者姓名： | 李洪 |
| 作者单位： | 合肥工业大学应用物理系激光研究所 |
| 摘 要： | 探讨了ＴｉＮ膜的吸附机理、吸附条件以及空余键力在真空镀膜中的应用。介绍了ＴｉＮ膜的特性，制备及应用前景，包括在加硬膜、耐蚀膜、装饰膜、阻挡膜及光学膜等方面的应用。 |
| 关 键 词： | TiN膜 吸附机理 空余健力 |
RESEARCH ON ABSORPTION MECHANISM AND PROCESS FOR TiN COATING |
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| Abstract: | |
| Keywords: | TiN coating absorption mechanism dangling bonds |
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