| 沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能 |
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| 引用本文： | 钟志有,顾锦华,何翔,孙奉娄.沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能[J].中南民族大学学报(自然科学版),2009,28(4):33-37. |
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| 作者姓名： | 钟志有 顾锦华 何翔 孙奉娄 |
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| 作者单位： | 1. 中南民族大学,电子信息工程学院,武汉,430074
2. 中南民族大学,计算与实验中心,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金，中南民族大学自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射工艺,以氧化锌铝（AZO）陶瓷靶作为靶材,通过优化工艺参数在玻璃基板上制备了具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜.基于X射线衍射（XRD）测试表征,研究了沉积温度对薄膜结晶性能的影响.实验结果表明：AZO薄膜的结晶性能与沉积温度密切相关,较低温度时,随着沉积温度的升高,薄膜的结晶性能得到提高,但是沉积温度进一步升高时却有所变差.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜的结晶性能最佳,c轴取向良好,晶粒尺寸接近40 nm.
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| 关 键 词： | 有机太阳能电池 阳极 结晶性能 |
Deposition Temperature Influences on Crystallinity of Anode Thin Films of Organic Solar Cells |
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| Zhong Zhiyou,Gu Jinhua,He Xiang,Sun Fenglou.Deposition Temperature Influences on Crystallinity of Anode Thin Films of Organic Solar Cells[J].Journal of South-Central Univ for,2009,28(4):33-37. |
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| Authors: | Zhong Zhiyou Gu Jinhua He Xiang Sun Fenglou |
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