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| 基于衍射准直的长程面形仪 | |
| 摘 要： | 长程面形仪是一种高精度、非接触的大型非球面光学检测仪器,作为同步辐射光束线工程的关键检测仪器,主要用于X射线波段大尺度、非球面反射镜面形检测及长镜精密压弯机构标定和性能测试.该仪器研制主要是为国家重大科学工程--上海光源工程光束线建设服务,该项目在解决了一系列关键技术难题的基础上,在国际上率先成功研制了1台基于衍射准直的长程面形仪. |
| 关 键 词： | 长程面形仪 准直 衍射 同步辐射光束线 光学检测仪器 非球面反射镜 上海光源工程 大科学工程 |
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