以氧化铝薄膜作为栅基绝缘层的场效应管

场效应晶体管是薄膜型结构，其绝缘层的介电常数、致密性和厚度对晶体管的性能影响很大。通常使用的二氧化硅绝缘层的介电常数较低，而氧化铝不但介电常数高，还具有低渗透性、高热稳定性等优点。但至今还没有以氧化铝作为栅极绝缘层包覆一维纳米材料的实验报道，主要是因为氧化铝熔点非常高，无法采用常规技术制作氧化铝绝缘层。中科院化学所有机固体重点实验室刘云圻、朱道本研究组与胶体、界面与化学热力学重点实验室韩布兴等合作，利用超临界流体技术简单、高效地将氧化铝不连续地包覆在碳纳米管表面上。