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| 刻蚀机温度控制系统设计初探 | |
| 引用本文： | 高,颖.刻蚀机温度控制系统设计初探[J].科技促进发展,2012,8(7):109-111. |
| 作者姓名： | 高 颖 |
| 作者单位： | 中微半导体设备（上海）有限公司,上海201201 |
| 摘 要： | 刻蚀机的温度控制系统是一个集制冷、加热、检测、控制为一体的温度循环控制系统，其利用温控的循环液体控制工作平台的温度，是一个典型的循环温度控制系统。本文从原理、制冷控制系统和压力损失等方面对该控制系统的设计进行探讨，为相关系统的设计工作提供参考。 |
| 关 键 词： | 制冷机 温度传感器 流量计 温度控制 |
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