| 微波网络分析仪的校准 |
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| 引用本文： | 祝宁华,王幼林,陈振宇.微波网络分析仪的校准[J].中国科学(E辑),2004,34(3):329-336. |
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| 作者姓名： | 祝宁华 王幼林 陈振宇 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家“973”计划(批准号:02000036601)，杰出青年基金(批准号:69825109)，国家“863”计划，香港城市大学战略研究资助(批准号:7001420)，香港研究资助委员会的CERG(批准号:9040804)资助项目 |
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| 摘 要： | 对微波网络分析仪和测试夹具的校准方法和校准过程经常出现的问题进行了介绍. 从提高校准精度的角度, 针对不同的测试端口和相应的校准标准, 提出了选取校准方法和运算方法的准则, 同时给出了解决这些问题和提高校准精度的具体建议. 发现并通过实验验证直通标准得到的4个方程能够同时使用, 并可以获得精确的结果. 实验中, 观察到对同一校准方法, 采用不同的运算方法可能导致频率限制问题的出现.
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| 关 键 词： | 微波网络分析仪 散射参数测量 测试夹具 校准 |
| 收稿时间： | 2003-02-17 |
| 修稿时间： | 2003-12-08 |
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