| 微电子机械系统(MEMS)技术及其应用 |
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| 引用本文： | 李文望.微电子机械系统(MEMS)技术及其应用[J].厦门理工学院学报,2001,9(2):53-57. |
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| 作者姓名： | 李文望 |
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| 作者单位： | 鹭江职业大学机械系, |
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| 摘 要： | 本文阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态 ,微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 医疗和生物应用 环境科学 |
| 文章编号： | 1008-3804(2001)02-0053-05 |
| 修稿时间： | 2001年1月17日 |
Technology and Application of Micro Electro Mechanical System |
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| LI Wen,wang.Technology and Application of Micro Electro Mechanical System[J].Journal of Xiamen University of Technology,2001,9(2):53-57. |
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| Authors: | LI Wen wang |
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| Abstract: | This paper discusses the technical features and processing technique of MEMS,describes its application to Environmental Science and Biomedical Treatment,and also introduces its development prospects and study trends. |
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| Keywords: | MEMS Environmental Science Biomedical Treatment |
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