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| Co/C软X射线多层膜的时效研究 | |
| 作者姓名： | 白海力 姜恩永 田仁玉 王存达 |
| 作者单位： | 天津大学应用物理学系 天津300072 |
| 摘 要： | <正>软X射线多层膜是由折射系数高低不同的两种材料交替沉积而构成的一维周期结构.在软X射线多层膜的实际应用中,如显微学、宇航学和显微全息等方面,具有高反射率是十分重要的.因此,研究X射线多层膜的时间效应有实际意义.本文研究了Co/C软X射线多层膜的时间效应. |
| 关 键 词： | 软X射线多层膜 混合焓 时间效应 多层膜 钴 碳 |
| 收稿时间： | 1996-05-10 |
| 修稿时间： | 1996-10-10 |
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