小口径非球面碳化钨模具的磁场辅助抛光工艺

小口径非球面光学透镜具有优良的光学性能和广阔的应用前景,但其常用的碳化钨模具由于高硬度的材料特性,加工和抛光难度较大.为获得高质量、高精度的小口径非球面透镜,利用磁场辅助的抛光方式对其碳化钨模具进行加工：首先,通过一系列单因素试验选出合适的金刚石微粉粒度和抛光液成分配比,再采用正交试验探究多种工艺参数对抛光效果的影响规律,确定最佳工艺参数组合.结果表明,使用该组工艺参数抛光可以使检测点的粗糙度由10.3 nm降至3.2 nm,刀纹痕迹明显变浅甚至消失.因此,磁场辅助的抛光方式能够有效改善模具表面的波纹度和粗糙度,对于小口径非球面光学元件的加工具有一定的参考意义.