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射频磁控溅射制备ZrN薄膜及其表征

作者单位：	吉林师范大学,物理学院,吉林,四平,136000;吉林大学,物理学院,吉林,长春,130021

摘要：
关键词：	射频磁控溅射 ZrN薄膜 X射线衍射
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